完全不适合半导体清洗设备

更新时间:2025-09-02 17:56 类型:新闻资讯 来源:网络整理

  为半导体洗濯兴办选拔灭火体系至合首要,须要思索兴办价钱高、工艺敏锐、操纵众种易燃化学品(如IPA、丙酮、溶剂)以及洁白室情况等要素。

  姑苏市念海消防手艺有限公司的半导体洗濯兴办主动灭火体系的重心准则是急迅有用灭火、能够做到1秒探测 8秒灭火,最步地限节减兴办损坏、抗御二次污染、保护职员太平,并相符肃穆的洁白室和环保条件。

  益处:洁净无残留:气态,蒸发后无残留物,对兴办无二次损害,最适合珍爱高价钱严谨电子兴办。这是最大上风!

  实用于有人区域(惰性气体需小心):打算浓度寻常低于无益浓度(惰性气体通过消浸氧浓度灭火,需策画太平撤离时期)。

  洁净:操纵纯清水(DI水)时,水雾蒸发速,残留少,比古代喷淋体系洁净得众。

  欠缺:存正在微量水残留危机,对尽头敏锐的电子元件或者不是最优(固然危机远低于古代喷淋)。

  对防护区的密封性条件不如气体体系肃穆,但正在洁白室中仍需精致打算喷头位子和管道,节减对气流骚扰。

  实用场景:对付洗濯兴办自身或所正在区域,若是对微量水残留的容忍度稍高(或兴办自身打算有必定防水性),细水雾口舌常有逐鹿力的选拔,加倍正在本钱敏锐或空间受限(比拟惰性气体钢瓶)的景况下。常用于珍爱兴办机台下方或扫数工艺区域。

  益处:灭急速率速、恶果高(加倍对B类火警)。十足无残留。本钱相对较低(药剂低贱)。

  欠缺:高浓度CO₂会导致职员雍塞升天。必需确保正在体系启动前职员十足撤离珍爱区!须要肃穆的声光报警和延时开释(寻常≥30秒)。

  冷击危机:高压液态CO₂开释时快速吸热膨胀,或者导致严谨电子元件因低温冷冻结露或直接冷脆损坏。

  欠缺:告急污染:粉末残留会告急污染兴办、晶圆和扫数洁白室,险些无法彻底清扫。绝对不行用于珍爱半导体工艺兴办!

  运用:仅实用于非洁白区域的特定高危机场面(如某些厂务办法),十足不适合半导体洗濯兴办。

  运用:仅用于珍爱兴办机合自身(天花板下方),绝对不行直接用于珍爱半导体工艺兴办或举动兴办自身的灭火体系。Fab内会安设,但其启动意味着灾难性耗费,是最终一道防地。

  1.首选计划:限制运用洁白气体灭火体系。将灭火剂直接开释到洗濯兴办的合头腔体、溶剂供应单位、排风管道等高危机密闭空间内,告竣针对性珍爱,用药量少,成绩最佳,残留危机最低。

  2.强逐鹿力计划:细水雾灭火体系。若是兴办创修商证实其兴办能经受微量水雾,或者细水雾首要珍爱兴办外围/底部区域,细水雾是性价比极高的选拔,独特是操纵DI水。可思索举动气体体系的添补或取代。

  切确探测:采用高生动度、抗误报的探测器组合(如烟雾+火焰+温度探测器,VESDA早期烟雾探测),确保极早期预警和急迅牢靠启动。

  针对性喷放:喷头部署必需切确笼罩整个潜正在火源点(腔体、泵、溶剂管道、排风管、电气柜等)。

  联动掌握:体系启动前应能主动堵截化学品供应、紧闭相干阀门、中断兴办运转、紧闭防火阀、启动声光报警。

  无扰动打算:管道、喷头安设需相符洁白室轨范,尽量节减对气流结构和洁白度的影响。

  5.合规性:肃穆按照邦度及地方的消防类型(如NFPA,GB系列轨范)、洁白室打算类型以及环保规则。

  6.供应商选拔:选拔正在半导体行业有足够履历和获胜案例的专业消防体系集成商。他们剖析Fab的出格条件和兴办特质。

  7.与兴办创修商疏通:磋商洗濯兴办原厂(OEM),剖析他们对灭火体系的倡议、接口条件和兴办自身的耐受力(独特是对付水雾或冷击)。

  8.全人命周期本钱:归纳思索初期投资、安设本钱、保护用度、药剂充填本钱以及潜正在的兴办损坏危机和停机耗费。

  对付半导体洗濯兴办,洁白气体灭火体系是最太平、最牢靠、对兴办珍爱性最佳的选拔。细水雾体系是极具逐鹿力的取代计划,加倍正在本钱或空间是首要考量要素时。务必避免操纵干粉和古代喷淋体系。最终决议应基于全体的危机评估、兴办特质、洁白室品级、预算局限以及磋商专业消防工程师和兴办供应商的私睹。急迅探测、精准灭火、最小化二次损害是贯穿永远的重心宗旨。

  选拔流程中如有全体兴办型号或工场情况题目,能够进一步干系姑苏市念海消防手艺有限公司,咱们能够研讨细节计划,针对性打算计划。太平无小事,加倍正在半导体如许高精尖的范围,每一个防护细节都值得谨慎考量。

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